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実際にUA3Pで測定した事例を紹介いたします。
ウェーハ上のレンズを連続して測定し、その形状を評価することができます。
対応機種： UA3P-500H/650H/700H
対応オプション： ウェーハチャック＆カメラユニット（ハード） ウェーハレンズ測定ソフト（ソフト）
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